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金刚石的成核机理
在研究金刚石的成核机理等基础理论方面是较为完善的一种。尽管合成速度较慢约为1~2um/h,电镀金刚石工具供应商,但沉积的金刚石薄膜质量高,与基体结合好。
近发展的等离子体辅助热丝CVD法(EACVD),提供电镀金刚石工具,不仅获得远比一般热丝CVD法更高的沉积速度(10—20um/h),而且金刚石膜的质量得到显著提高。
先将真空室抽成真空,再将热丝加热到1800℃~2400℃的高温,电镀金刚石工具,通往含碳气源和H2,气体通过热丝时被分解成原子H,CH3,C2H2等基团,这些活性基团在800℃~1100℃的基体上反应形成金刚石晶核,再生长成金刚石膜。其中丝的材质、温度、丝与基体间的距离、气体种类比例、基体温度等对金刚石形核和生长都影响。
硬质合金砂轮主要用途
硬质合金砂轮具有一系列优良性能,用途十分广泛,随着时间推移用途还在不断扩大,主要用途:
耐高压高温用腔体:的用途就是生产合成金刚石用的顶锤、压缸等制品,顶锤、压缸用硬质合金砂轮已占我国硬质合金砂轮生产总量的9%。
结合度表示结合剂保持磨粒的强度大小。按英文字母分为26类。对由耐热钢和高硬度的合金砂轮钢制成的精密零件的精磨和终磨。这些零件用普通磨具时因磨具消耗或磨钝过快而不能获得很高的精度。
影响金刚石成核生长的两方面
磨料磨具中从影响金刚石成核生长的热力学和动力学方面考虑,主要有:衬底(基片)材料、衬底(基片)的预处理、衬底(基片)的炉内处理、沉积气源(气体中碳的浓度)、衬底(基片)温度、气体压强以及氢原子在沉积中的作用。
在这些因素中,对成膜的质量,沉积速率都有影响,电镀金刚石工具定制,但是由于沉膜过程的复杂,各种不同的制备方法与工艺参数又互相关联,彼此之间又有差异,各工艺参数对学和金刚石膜的质量和沉积速率的影响都还没有特定的规律和精辟的解释。
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